精密运动控制解决方案
超高真空 · 高低温 · 纳米级定位
1×10⁻⁸Pa
超高真空度
-196~190℃
工作温度范围
1μm
直线定位精度
0.001°
旋转分辨率
关于元一科技
元一科技(北京)有限公司是一家专注于超高真空精密运动控制系统研发与制造的高科技企业。公司核心产品涵盖真空位移台、超高真空电机、隔振光学平台三大系列。
产品广泛应用于半导体制造、同步辐射光源、生物医疗、航空航天、核工业及前沿科学研究等领域,为客户提供从标准产品到定制化解决方案的全方位服务。
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