采用空气伺服系统，自动调整水平，把系统对微振的响应反馈到系统中，改变隔振特性，提高隔振效果。
大型光学隔振平台，外框采用刚性强、变形小、焊接性能好的优质中碳钢板。
50-5500W伺服电机，超高真空兼容，闭环控制。
直线电机，闭环控制，高精度位置反馈，适用于需要精确速度控制的真空应用场景。
20-86法兰步进电机，超高真空兼容，保持扭矩0.4N·m。
20-86法兰步进电机，超高真空兼容，适用于精密运动控制。
超高真空电动位移台，重载型设计，高刚性，适用于大负载精密运动控制。
超高真空电动位移台，大行程设计，内置步进电机，支持闭环控制，适用于精密定位场景。
超高真空电动位移台，内置步进电机，整步分辨率1μm，支持闭环控制。
超高真空手动位移台，大行程重载型，高刚性结构设计，适用于大负载样品的精密定位与调整。
超高真空手动位移台，精密微调设计，适用于超高真空环境下的精细样品定位，无油润滑，长期稳定运行。
超高真空手动位移台，行程13～1000mm，圆导轨、方导轨形式多样，高刚性设计，适合重载样品定位。
超高真空手动位移台，行程13-50mm，分辨率1μm，适用于1×10⁻⁸Pa真空环境，无油润滑设计。
