超高真空电动位移台

超高真空电动位移台,重载型设计,高刚性,适用于大负载精密运动控制。

电动位移台

产品概述

EV-200 重载型电动位移台,高刚性结构设计,在真空环境下实现大负载精密运动控制。

技术参数

分辨率1μm
真空度1×10⁻⁸Pa
工作温度-196℃~+190℃
驱动方式步进电机
控制方式闭环

应用领域

适用于重载自动化定位、大型设备集成、航空航天测试等场景。