超高真空电动位移台超高真空电动位移台,重载型设计,高刚性,适用于大负载精密运动控制。 电动位移台咨询报价返回列表产品概述EV-200 重载型电动位移台,高刚性结构设计,在真空环境下实现大负载精密运动控制。技术参数分辨率1μm真空度1×10⁻⁸Pa工作温度-196℃~+190℃驱动方式步进电机控制方式闭环应用领域适用于重载自动化定位、大型设备集成、航空航天测试等场景。