为量子计算实验室提供气浮隔振光学平台,隔振频率低至1Hz,为量子比特操控和测量提供超稳定光学实验环境。
为航天器空间环境模拟试验提供超高真空、高低温环境下的精密运动系统,模拟太空极端条件,验证航天器部件性能。
为冷冻电子显微镜提供低温真空环境下的精密样品定位方案,工作温度-196℃,定位精度1μm,助力结构生物学研究。
为材料表面分析实验室提供超高真空样品调整台,支持多自由度精密调节,配合XPS/UPS系统使用,满足表面科学实验需求。
为半导体检测设备定制多轴真空运动平台,实现晶圆的高精度自动定位与检测,重复精度±1μm,大幅提升检测效率。
为某国家级同步辐射装置提供超高真空位移台,实现纳米级样品定位,满足X射线衍射实验需求。真空度1×10¹⁰mbar,定位精度±0.5μm。