项目背景

某高校材料表面分析实验室需要为其XPS/UPS系统配备超高真空样品调整台，要求支持多自由度精密调节，真空度优于1×10⁻⁹mbar。

解决方案

元一科技（北京）有限公司提供了五自由度样品调整台，包括XYZ三轴直线运动和两轴旋转运动，所有运动均采用无油润滑设计，满足超高真空要求。

项目成果

该样品台已成功应用于多项表面科学研究项目。