50-5500W伺服电机，超高真空兼容，闭环控制。
直线电机，闭环控制，高精度位置反馈，适用于需要精确速度控制的真空应用场景。
20-86法兰步进电机，超高真空兼容，保持扭矩0.4N·m。
20-86法兰步进电机，超高真空兼容，适用于精密运动控制。
