超高真空电动位移台超高真空电动位移台，大行程设计，内置步进电机，支持闭环控制，适用于精密定位场景。 电动位移台咨询报价返回列表产品概述EV-100 大行程电动位移台，内置步进电机驱动，支持全闭环控制，在大行程范围内保持高精度定位。技术参数分辨率1μm真空度1×10⁻⁸Pa工作温度-196℃~+190℃驱动方式步进电机控制方式闭环应用领域适用于大行程自动化定位、半导体晶圆传输、精密光学调整等场景。
